热质量流量调节器 II用于气体用于氮不锈钢
添加到我的收藏夹
添加到产品对比表
产品规格型号
- 所用技术
- 热质量
- 液体类型
- 用于气体, 用于氮
- 其他特性
- 工业, 高精度, 不锈钢, IP40
- 输出
- 模拟, 数字, RS-232, MODBUS, DeviceNet, Profibus
- 流量
最少: 0.014 m³/h
(0.49441 ft³/h)最多: 1,670 m³/h
(58,975.49342 ft³/h)- 压力
最少: 928 Pa
(0.135 psi)最多: 1,450 Pa
(0.21 psi)- 公称直径
最少: 6 mm
(0.236 in)最多: 20 mm
(0.787 in)
产品介绍
概述
Series II Standard 质量流量控制器在宽范围流量（0.014 sccm 至 1,670 slpm）内提供精确的测量与控制。适用于工业与实验室气体处理，支持多气体与多量程选项，可选通信接口，湿涉材质为耐腐蚀的316L不锈钢。
主要特性
技术规格
应用领域
订购信息
Series II Standard 质量流量控制器在宽范围流量（0.014 sccm 至 1,670 slpm）内提供精确的测量与控制。适用于工业与实验室气体处理，支持多气体与多量程选项，可选通信接口，湿涉材质为耐腐蚀的316L不锈钢。
主要特性
- 流量范围：0.014 sccm 至 1,670 slpm
- 高精度：±0.5% 读数 + ±0.1% 满量程（视量程而定）
- 调节比：1:50（数字模式下可达 1:187.5）
- 湿涉/主体材料：316L 不锈钢；表面粗糙度 ≈ 0.8 µm
- 通信：模拟或数字（RS-232、DeviceNet、Profibus-DP、Modbus-RTU）
- 阀门：常开或常闭可选
技术规格
- 最大流量：最高 1,670 L/min
- 压力控制范围：928 PSIA – 1,450 PSIA
- 连接类型：压缩接头、面密封公头等；尺寸 1/8"–1/2"（6 mm–20 mm）
- 密封材料：EPDM、Kalrez、Viton（标准）
- 精度说明：±0.5% 读数 + ±0.1% 满量程（3–5 ml/min 为 ±1% FS；<3 ml/min 为 ±2% FS）
- 重复性：< 0.2% 读数
- 稳定时间：2–4 秒（标准）
- 控制稳定性：< ±0.1% FS（在 1 L/min N2 下典型值）
- 工作温度：-10 °C 至 70 °C
- 温度系数：零点 < 0.05% FS/°C；满量程 < 0.05% 读数/°C
- 压力系数：约 0.1 ATM（N2）；约 0.01%/ATM（H2）
- 泄漏率：低于 2 x 10-9 mbar·L/s He（测试）
- 预热时间：为获得最佳精度需 30 分钟；2 分钟可达 ±2% FS
- 防护等级：IP40
- 电源：+15–24 Vdc，最大功耗 320 mA（若使用 Profibus 另加 50 mA）
- 电气连接：9 针 D 型连接器
应用领域
- 气体输送与混合
- 半导体工艺与研发
- 分析仪器与校准
- 工业过程控制与中试装置
订购信息
- 请注明流量范围、校准气体、连接类型/尺寸、密封材料及阀门动作
- 选择通信选项（模拟、RS-232、DeviceNet、Profibus、Modbus）
- 附件：安装支架、校准证书、接口电缆
PDF产品目录
Miniature Pumps 2024
107 页
