半导体工业平版印刷系统 JetStep® G45

JetStep G45系统满足了移动显示行业的苛刻要求。基于成熟的步进技术，该系统结合了优化的性能能力和卓越的拥有成本。 产品概述 JetStep G45系统具有200毫米。低失真光学器件与高速精密运动相结合，使该系统能够实现<0.5μm的重叠。 JetStep G45系统的放大镜允许使用6英寸的视网膜（掩膜），与其他竞争技术相比，大大降低了模具成本。此外，该系统的特点是占地面积小，将设施成本降到最低，其无摩擦运动减少了磨损，降低了维护成本。这些节约的结果是一个经济实惠的制造过程，降低了资本支出和低拥有成本（COO）。 规格 - 高保真投影镜头和照明系统，分辨率达到1.5µm - 工业标准的6英寸视网膜格式，可实现成本效益的制造 - 自动倍率控制增加了工艺窗口 - 板载网纹管理系统，提供最大的利用率 - 用于原地校准的板载计量包 - 在每个曝光点的飞行自动对焦，在面板拓扑结构上自动调整焦点 - 提供系统性能和故障排除反馈的板载诊断系统