能够进行高速/高分辨率3D检测。
突破性的多功能共聚焦影像测量系统
融合了共焦技术,具有15倍变焦的明视野和激光自动对焦。 无论需要什么样的几何测量,二维或三维,检查和评估都异常快速和准确。
共焦光学系统可实现清晰显示,便于准确检测高对比度样品边缘。
精细凸点和基板图案
在同一视场内结合15倍变焦明场图像的2D测量和3D高度测量,可以实现多样化测量。
探头卡
可以根据位置数据一键式地进行编程。可以使用独家的图像处理工具自动测量探头卡上的XYZ坐标和共面接触探头销。
精密PCB图案
尼康独家的共焦成像技术可以精确扫描高反射和低反射率表面。