浓度监控系统 Q-MACS MC

加工测量光学

Q-MACS Process MC 是一种便携式监控系统，用于对蚀刻、沉积和氮化等离子过程等工业过程进行现场在线测量。它以成熟的 Q-MACS 基本技术为基础。该原位测量系统采用红外吸收光谱法测量工艺腔内的绝对分子浓度。通过标准真空法兰与工艺反应器进行光学连接。 封闭光路系统 配备 1 至 4 个激光器 灵敏度低至 ppb 范围 时间分辨率低至毫秒级 Q-MACS Process MC 包括系统操作所需的所有设备和软件。