缩放显微镜物镜 NanoVue

用于检测检查UV 紫外线

Navitar 开发了 NanoVue 248nm 4X 深紫外变焦镜头，以满足进一步扩大光学检测分辨率极限的日益增长的需求。NanoVue 光学系统在深紫外光（DUV）下工作，能够检测和表征产量关键缺陷，同时有效地将传统可见光显微镜的分辨率极限提高一倍。 - 检测灵敏度为 90 纳米。 - 与 100X 物镜配合使用时，变焦范围为 75X - 300X。 - 使用 2/3" 格式传感器和 100 倍物镜时，视场角为 0.15 至 0.037 毫米。 - 使用深紫外物镜可进行小于 0.1 um 的光学检测。 - 业内唯一的深紫外变焦解决方案。 NanoVue 变焦镜头是新 OEM 产品开发和集成到需要更高产能的 DUV 仪器中的理想选择，使客户能够快速开发出功能丰富、成本更低、占地面积更小的新型灵活自动化仪器。