平动位移台 ATS 2032

XYZ轴机动3轴

标准电动 AFM 阶段用于晶圆分析的 电动转换阶段 ATS 2032 电动 XYZ 转换阶段用于对直径达 8" 的晶圆和高度达 60mm 的通用 AFM 样品进行串行测量。 它具有在所有方向上的精确移动和磁铁，以保持金属样品的原位。 该级设计用于与 NaniteAFM 原子力显微镜一起使用。