光束扩展机

我们可根据要求为 VI direct 100 型干涉仪提供扩展光学镜组，将自由孔径从 100 毫米扩展到 150 毫米。因此，可以检测直径达 150 毫米的试样。扩展光学镜组可与参考板 D 150 配合使用。