这些压力传感器使用应变片,是以电信号测量压力的传感器。美蓓亚生产采用蓝宝石硅技术的高精度压力传感器和使用应变片的长时间稳定型压力传感器。这些设备与各种测量设备连接,用于测量目的,可对压力进行显示、记录、控制和监测等。
根据构建灵敏度部分所用材料的不同,应变片系统可分为两种类型:半导体应变片系统(SOS 系统)和金属箔应变片系统(应变片系统)。
采用蓝宝石上硅(SOS)技术的直接压力型传感器
压力传感器在蓝宝石(Al2O3 单晶)板上形成硅薄膜(外延生长)。利用这种硅薄膜,硅半导体应变计的电阻丝本身就与蓝宝石板连接在一起,构成了一个物理和电气性能都极为稳定的理想传感器。每枚 H-IIA 火箭大约使用 60 个应变片。
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