相对压力换能器

应变式硅电流输出

这些高精度、长期稳定性良好的压力传感器采用蓝宝石上硅（SOS）技术或应变片技术，可将压力转换为电信号进行测量。传感器可连接至各类测量设备以进行测量，并能实现压力显示、记录、控制和监控等功能。 特点 采用蓝宝石上硅（SOS）技术的直接压力型传感器 该压力传感器在蓝宝石（Al₂O₃单晶）基板上形成硅薄膜（外延生长）。 利用该硅薄膜，硅半导体应变片将其电阻线直接连接至蓝宝石基板，构成了物理和电气性能均极其稳定的理想传感器。每枚H-IIA火箭中约使用60个此类传感器。 采用自主生产的应变片 通过采用具有长期稳定性能优势的自主生产应变片，美蓓亚三美（MinebeaMitsumi）确保了高质量、高可靠性压力传感器的稳定供应。