这些自动化系统由MicroXact的XactTest™探针站软件驱动。该界面设计得简单而方便,允许用户为几乎任何种类的设备轻松地设置自动测试程序。基于LabView的XactTest软件解决方案具有逻辑结构,可以在XactTest™软件的框架内或使用其广泛的SCPI命令集,实现探针站控制和客户自己的测试和测量设备的轻松集成。对于泰克设备和吉时利自动表征套件(ACS)软件的所有者来说,可以使用XactTest™软件的驱动程序。
XactTest探针站软件的特点
- 在大多数情况下,所有的自动化、测量和数据采集都可以由在一台简单的笔记本电脑上运行的软件包来管理。
- 软件允许用户生成设备的晶圆图,然后保存该图以便日后导入。
- 地图编辑功能使用户能够快速和容易地标记他们希望测试仪跳过的晶圆上的特定裸片或区域。
- 点选式导航让用户在地图上点击,快速将卡盘移动到晶圆上的特定器件。
- 3点、4点或5点软件引导的对准可以纠正晶圆的机械错位,并将纠正整个晶圆的高度变化。
- 软件中内置了对热卡盘和光闸的完全控制,允许复杂和高度可定制的测试序列。
- 广泛的SCPI命令库可用于探针站控制和与客户自己或第三方自动化解决方案的整合。
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