MEMS流量传感器 MSH01

硅压阻式体积质量

敏芯流量传感器是基于热传导原理。传感器结构由位于敏感薄膜上的微热源、与微热源对称的上游温度传感器和下游温度传感器以及位于硅基上的环境温度传感器组成。当传感器表面没有流体流动时，微热源周围的温度场呈对称分布，如(a)；当传感器表面有流体流动时，由于流体对微热源有冷却效应，导致微热源周围的温度场被干扰，微热源上下游呈不对称分布，如图 (b)；流体流动的速度越大，气体从微热源带走的流速越大，微热源周围的温度的不对称性越大。流体的流速通过上下游温度传感器的温度差获得。 - 宽量程比>300:1 - 响应速度快<5ms - 超低启动流量 <0.05m/s - 高灵敏度高精度 高于+/-3%读数精度 - 不可动部件，可靠性高 - 适用于洁净气体和液体 - 医疗呼吸、诊断设备 - 燃料电池控制 - 汽车空气流量计 - 家用燃气设备 - 气相、液相色谱质谱分析仪 - HVAC - 检漏仪 - 工业自动化