绝压模组是一款独特LGA封装的压力芯片模组,其MEMS芯片利用自主研发的SENSA 工艺制备,搭载专用集成电路调理芯片,具有精度高、稳定性好、优异温度补偿等优点,可根据客户需求将其封装为所需压力传感器形式,实现特定比例输出信号的标定。本系列产品在补偿温区(-40°C至125℃)、全量程范围内精度小于± 2.0%。 差压模组是一款基于陶瓷材料的LGA封装形式的、高稳定性的微差压芯片模组,其MEMS 芯片利用先进的世界通用的全硅压力传感器工艺制备,搭载专用集成电路调理芯片,具有精度高、稳定性好、优异温度补偿等优点,可根据客户需求将其封装为所需压力传感器形式,实现特定比例输出信号的标定。 本系列产品在补偿温区(-40°C至125℃)、全量程范围内精度小于± 3.0%。