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AC/DC开关电源 HECD series开关式数字台式
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产品规格型号
- 种类
- AC/DC
- 技术
- 开关式
- 其他特性
- 数字, 台式
- 输入电压
最多: 240 V
最少: 100 V
- 输出电压
最多: 5 kV
最少: -5 kV
- 电流
1 mA, 2 mA, 3 mA, 10 mA
产品介绍
该系列是用于静电卡盘的高电压放大器电源。除了极性切换和强制接地外，该系列还提供晶圆监测系统，以满足晶圆检测的需要。
此外，由于电压范围广，该系列可以支持库仑式和Johnsen-Rahbek静电卡盘。
特点和优点
通过晶圆传感器进行可靠的卡盘/释放状态检测
通过放大器结构设计实现快速响应（通过 "非继电器极性反向 "设计实现高可靠性和长寿命。）
"双通道独立控制（可选）"和 "中心抽头电压设置（可选）"用于各种吸盘/释放操作
配备了LAN、USB、RS-232C的数字接口
内置低通射频滤波器(13.56 MHz)
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