产品概述Malema MPS-450 系列压力传感器为半导体及先进工艺的高纯度流程系统提供精确的压力监测。非金属接液部件(PFA、PTFE、FFKM)确保无污染接触。提供单端口和直通(flow-through)设计,支持管、柱和法兰(flare)连接。
特点- 接液材料:PFA、PTFE、FFKM,适用于高纯度系统的化学兼容性
- 支持单端口与直通两种设计
- 适用于气体及不发生相变的液体
- 精度 ±1% FS;可重复性 ±0.5% FS;防护等级 IP64
应用- Chemical and Mechanical Planarization (CMP)
- 无电镀沉积(electroless deposition)
- 湿法刻蚀
- 湿式清洗与化学分配系统
- 化学混配系统
- 超纯水监测
流体连接管、柱、法兰(Flare)
尺寸(表)尺寸 | 1/4\" | 3/8\" | 1/2\" | 3/4\" | 1\"
单端口 | X | X | X | |
直通 | X | X | X | X | X
性能规格(表)精度 | ±1% FS
可重复性 | ±0.5% FS
环境温度 | 0–50°C
介质工作温度 | 10–70°C
可测流体 | 气体或不发生相变的液体
最大工作压力 | 取决于量程;通常高于最大压力约 2 bar
防护等级 | IP64
电气规格(表)输出选项 | 模拟 — 被动 4–20 mA 电流环或 0–10 V DC
电源 | 24 V DC ±10%
功耗 | 最大 30 mA @ 24 V DC
电缆 | 提供 1 m、3 m 或定制长度 PVC 套管电缆
技术规格- Brand: Malema
- Model: MPS-450
- 接液材料: PFA、PTFE、FFKM
- 设计选项: 单端口或直通设计
- 连接选项: 管、柱、法兰(flare)
- 适用流体: 气体或不发生相变的液体
- 环境温度范围: 0–50°C
- 介质工作温度: 10–70°C
- 精度: ±1% FS
- 可重复性: ±0.5% FS
- 最大工作压力: 取决于量程;通常高于最大压力约 2 bar
- 防护等级: IP64
- 输出: 被动 4–20 mA 电流环或 0–10 V DC
- 电源: 24 V DC ±10%
- 功耗: 最大 30 mA @ 24 V DC
- 电缆选项: 1 m、3 m 或定制长度,PVC 套管