光学偏振仪 LSM-9001NIR

自动数字

概述
评估半导体晶圆、有色玻璃、有色丙烯酸树脂制品等低相位差样品的应变（相位差）二维分布。可在约1分钟内评估约50×50 mm范围。

型号
Fully Automatic Strain Eye LSM-9001NIR

检测方法
NIR 旋转分析仪方法

主要特征

• 全自动测量：放置样品并启动测量；系统根据内置相机采集的图像计算结果，无主观判定，减少操作人员负担和测量误差。
• 可测量传统偏光仪难以评估的半导体晶圆、有色或透明制品的应变、残余应力和裂纹。
• 软件分析功能完善：二维分布图的剖面图、任意区域的直方图、二维分布的3D显示、测量结果CSV导出及图像保存以便追溯分析。
• 采用高亮度LED光源，寿命长、节能，降低维护和运行成本。

规格

• 检测方法：NIR 旋转分析仪方法
• 测量范围（约）：0–150 nm（相位差）
• 测量区域尺寸（约）：50×50 mm
• 测量时间：约1分钟（50×50 mm）
• 样品放置空间（高度）：最大160 mm
• 尺寸：W300 × D353 × H540 mm
• 重量：22 kg
• 光源：高亮度LED
• 电源：AC100–240V 50/60Hz；直流输入 24V 1.6A
• 组件：主机、PC、线缆；附件：主机罩
• 操作系统：Windows 10 Pro（64bit） 日语/英语