晶圆边缘测量系统 WATOM T

光学紧凑型轮廓仪

单晶圆边缘轮廓仪 WATOM T 占地面积小，精度稳定 WATOM T 结构紧凑、价格低廉，适用于无自动化要求的应用，具有与其他 WATOM 系统相同的质量、工艺可靠性和测量精度。 WATOM T 可接受两种尺寸的晶片，以便快速测量样品。 该工具配备触摸屏，操作员、专家和维护人员都能轻松使用。