激光轮廓测量仪 VK-X4000

光学3D共焦

概述
VK-X4000系列3D光学轮廓显微镜将激光共焦、白光干涉（WLI）和焦点变化集成在单一计量平台，实现对表面与地形的非接触高精度测量。系统支持多点自动化流程与多特征检测，以提高通量并减少人工设置量。

主要特性

• 一台仪器集成三种测量原理：激光共焦、WLI和焦点变化，覆盖广泛的材料与几何形状。
• 多点自动测量：设定目标坐标与放大倍数，可进行无人值守的批量测量。
• 自动多特征测量：识别目标特征并自动应用测量条件，保证结果一致性。
• AI-Analyzer：评估数十项表面参数，突出最能区分样品的指标，简化分析流程。
• 高度通用：适用于金属、薄膜、塑料、半导体、医疗零件等材料。

测量原理及优势

• 激光共焦：适用于复杂形状及多种材料，能在困难几何体上获取局部3D数据。
• 白光干涉（WLI）：提供亚纳米级垂直分辨率，用于极其精细的表面细节及精确厚度测量。
• 焦点变化：在较大区域捕捉细微纹理，并在透明性或坡度限制其他方法时提供互补数据。

多点/自动测量

• 通过选择目标位置设置多个测量点，仪器自动处理定位和物镜选择。
• 在多件工件和区域上执行批量自动测量，无需重复手动设置，降低循环时间与操作员差异。

AI-Analyzer / 粗糙度分析
AI-Analyzer比较大量表面参数（如Ra、Rz和常用ISO参数），自动识别最能区分样品差异的参数，简化粗糙度指标的选择并加速结果解读。

应用与收益

• 适用于电子、精密制造、薄膜/片材、医疗器械、塑料等行业的3D表面轮廓测量与粗糙度分析。
• 通过一致且可重复的自动化测量流程实现高通量检测，满足质量控制和对比分析需求。
• 结合互补测量方法，可处理几乎任何表面，从光滑透明薄膜到粗糙复杂几何体。

技术规格

• 商品名称：VK-X4000 series
• 测量原理：激光共焦、白光干涉（WLI）、焦点变化
• WLI垂直分辨率：亚纳米级（用于微小表面细节）
• 多点测量：自动坐标选择及跨样品的批量测量
• AI-Analyzer：自动比较多项表面参数以检测关键差异
• 自动多特征测量：对识别的特征自动应用测量条件
• 适用材料：金属、薄膜、塑料、半导体元件、医疗零件等
• 主要使用场景：3D表面轮廓测量、粗糙度分析、薄膜厚度评估、表面比较分析、高通量自动化检测