概述BN6000为热压成形的六方氮化硼(hBN),面向苛刻的工业和航空航天环境开发。与常规纯BN等级相比,其纯度高、机械性能更优,在等离子体、真空和惰性高温条件下仍能保持稳定性能。
技术特性- 成分:六方氮化硼(hBN)
- 最高使用温度:空气中850°C;惰性气氛下可达2000°C
- 密度:2.0 g/cm3
- 弯曲强度(室温):52 MPa(平行) / 60 MPa(垂直)
- 压缩强度:40 MPa(平行) / 60 MPa(垂直)
- 线膨胀系数(20°C–1000°C):1.1 ×10^-6(平行) / 0.5 ×10^-6(垂直)
- 热导率:≈21 W/m·K(各向异性:≈21 平行 / ≈21 垂直)
- 击穿强度:>70 kV/mm
- 体积电阻率:≈1e14 ohm·cm
产品特性- 纯氮化硼等级(hBN),热压成型
- 在惰性气氛中可工作至2000°C
- 适用于真空和等离子体设备的电绝缘高击穿强度
- 典型可供尺寸:最大 Ø300 mm × 400 mm 长
优点- 相比多数BN产品具有非常高的纯度
- 在纯BN等级中表现出优异的机械性能
- 可在多种高温和真空应用中替代纯BN或含粘合剂的BN
- 适用于PVD设备、真空炉、晶体生长炉及霍尔推进器放电通道
应用- PVD(物理气相沉积)设备组件
- 真空炉中的绝缘体和支撑板
- 半导体加工中暴露于高温或等离子体的部件
- 需要耐高温介电材料的航空航天与航天部件
规格- 型号:BN6000
- 成分:六方氮化硼(hBN)
- 最高温度:850°C(空气) / 可达2000°C(惰性)
- 密度:2.0 g/cm3
- 弯曲强度(RT):52 / 60 MPa(平行 / 垂直)
- 压缩强度:40 / 60 MPa(平行 / 垂直)
- 线膨胀系数(20°C–1000°C):1.1 / 0.5 ×10^-6(平行 / 垂直)
- 热导率:≈21 W/m·K
- 击穿强度:>70 kV/mm
- 体积电阻率:≈1e14 ohm·cm
- 典型尺寸:最大 Ø300 mm × 400 mm 长