激光标记系统

自动晶圆玻璃

产品概述
JPT 的全自动高精度激光标记设备，针对玻璃、树脂及半导体晶圆的自动化高精度标记而设计。系统集成了 JPT 的紫外皮秒激光源、振镜扫描与精密光学，实现微米级可重复标记并将热影响降至最低。

主要优势

• 晶圆兼容范围广：支持 4 英寸、6 英寸、8 英寸、12 英寸（可定制），覆盖不同工艺阶段。
• 双面自动处理：可自动识别并对晶圆正反面进行标记，简化流程。
• 自动化上下料：配备 LoadPort/SMIF 模块、边缘定位器与晶圆搬运机器人，实现低人工干预的连续运行。
• 紫外皮秒超快标记：标记清晰，热影响区小，保障晶圆完整性与良率。
• 模块化结构，可扩展性强：模块化设计支持功能扩展与产线灵活集成。

技术规格

• 激光类型：紫外皮秒
• 激光功率：5W / 10W
• 冷却方式：恒温水冷
• 光束质量：M2 < 1.3
• 聚焦方式：振镜扫描
• 焦斑尺寸：< 10 μm
• 最大加工速度：1000 mm/s
• 加工精度：±20 μm
• 定位精度：±5 μm
• 支持工件尺寸：4"、6"、8"、12"（可定制）
• 产能（UPH）：35–50 件/小时
• 设备尺寸（长×宽×高）：1710 × 2200 × 2200 mm
• 控制软件：JPT

应用与行业

• 半导体与晶圆制造（3C 电子行业）
• 玻璃与树脂部件标记
• 需要可追溯性的自动化生产线

自动化与集成

• 支持 LoadPort/SMIF 接口，与工厂自动化系统对接
• 边缘检测与自动对位，确保可靠定位
• 模块化布局，适合在线或独立部署