概述在半导体制造环境中,UHP(超高纯度)液体化学品供给系统用于在大容量储存与使用点之间实现受控、低污染的酸、碱和溶剂输送。系统能减少手工操作,维持工艺完整性以保证高良率。
大容量化学品输送处理系统大容量处理基础设施用于将大量化学品从外部罐区或桶房运输至设施内。常用材料包括电解抛光316L不锈钢或高等级PFA管路。传输方式可采用自动加压传输或磁耦合(磁驱)泵,以实现平稳无脉动流量,降低结晶与粒子产生风险。
UHP 液体化学品供给系统(末端)末端UHP系统专注于向使用点的分配,集成高级过滤、无接触液位传感与实时用量监测。安全与纯度措施包括二次围堰、自动泄漏检测和氮气置换,以防氧化并保障操作人员安全,同时向生产线提供高纯度化学品。
技术参数型号: JW-200L-CDM, JW-1000L-CDM
特殊气体柜尺寸: W2200*D1500*H2000(双桶) / W2990*D2100*H2000(双桶)
控制柜电源: 220VAC, 50Hz, 0.5–3KW, 漏电保护
置换气体: PN2, SS316 1/2" SWG
超纯水: UPW, JIS 16A 接口
压缩空气: CDA, SS316 1/2" SWG
废液出口: 排水, PP DN20 Fusion Socket / 排水, PP DN25 Fusion Socket
标准 / 可选项- 紧急手动操作面板(可选)
- 高效过滤器
- 门禁传感器(可选)
应用处理的特殊化学品- HF - 氢氟酸
- HCL - 盐酸
- H2O2 - 过氧化氢
- KOH - 氢氧化钾
- HNO3 - 硝酸
- NH4OH - 氨水
- H2SO4 - 硫酸
功能- 液体化学品过滤
- 液体化学品取样
- 液体化学品循环
- 液体化学品输送
特性 / 技术规格- 型号: JW-200L-CDM; JW-1000L-CDM
- 特殊气体柜尺寸: W2200 × D1500 × H2000(双桶)或 W2990 × D2100 × H2000(双桶)
- 控制柜电源: 220VAC, 50Hz, 0.5–3KW,带漏电保护
- 置换气体: PN2,SS316 1/2" SWG
- 超纯水接口: UPW,JIS 16A
- 压缩空气: CDA,SS316 1/2" SWG
- 废液出口选项: PP DN20 Fusion Socket 或 PP DN25 Fusion Socket
- 标准配置: PP 外壳 + 透明 PVC 观察窗、PFA 内管阀、氮气置换、取样、全自动酸液补给、左右桶自动切换、泵冗余配置(两用一备)、阀门与管路供液状态触摸屏显示、自动断供、预警与报警、自检、多语言支持、多信号输入、条码扫描、高效过滤器、可选门传感器
- 应用领域: 半导体、光伏、太阳能、LCD 面板、光纤及其他高科技生产领域
- 处理化学品: HF、HCL、H2O2、KOH、HNO3、NH4OH、H2SO4
- 主要功能: 过滤、取样、循环、输送液体化学品