扫描电子场发射显微镜 JSM-7610F

用于分析数码摄像机式超高解析度

JSM-7610F是一台超高分辨率的肖特基场发射扫描电子显微镜，它具有半透镜式物镜。高功率光学器件可以提供高产量和高性能的分析。它也适用于高空间分辨率的分析。此外，温和光束模式可以减少入射电子对试样的穿透力，使您能够通过使用几百个着陆能量来观察其最顶部的表面。 半透镜式物镜的高分辨率成像和高性能分析 JSM-7610F结合了两项成熟的技术--带有半透镜物镜的电子柱，可以通过低加速电压提供高分辨率成像，而透镜内的肖特基FEG可以提供稳定的大探针电流--为所有应用提供超高的分辨率和宽范围的探针电流（几pA到超过200 nA）。 透镜内肖特基FEG是肖特基FEG和第一个聚光镜的组合，旨在有效地收集来自发射器的电子。 通过温和光束模式（GB）在低加速电压下的最上层表面成像 温和光束（GB）模式对试样施加负电压，在入射电子照射到试样之前对其进行减速，从而在极低的加速电压下提高分辨率。 因此，7610F可以观察到传统方法难以观察到的几百个eV的最上层表面，以及非导电样品，如陶瓷和半导体等。