扫描电子场发射显微镜 JSM-F100

用于分析高解析度用于半导体

JSM-F100集成了备受推崇的In-lens Schottky Plus Gun和电子光学控制系统Neo Engine，一个新开发的操作GUI“SEM Center”和一个创新的Live-AI filter, 实现了高空间分辨率成像观察和高可操作性。JSM-F100的工作效率比之前的JSM-7000系列高50%或更高。 新操作导航SEM Center-集成了EDS操作 新开发的操作GUI“SEM Center”将SEM成像观察和EDS分析整合在一起，实现了图像观察和元素分析的无缝数据采集。 新功能Zeromag : “Zeromag”，结合了从光学图像到SEM成像的无缝转换，很容易定位试样目标微区。 新功能Live-AI filter(实时图像视觉增强器人工智能过滤器) option 配备人工智能Live-AI filter。与图像集成处理不同，这种新的过滤器可以显示无缝移动的实时图像，没有残留图像。这种独特的特征对于快速搜索观察区域、聚焦和消像散调整非常有效。 In-lens 肖特基-Plus场发射电子枪(FEG) 电子枪和低像差聚光镜的增强集成实现了更高的亮度。能够有效收集电子枪产生的电子，即使低加速电压下也能得到数pA-数十pA的电流，支持高分辨观察、高速元素分析和EBSD分析。 混合透镜(HL) 混合透镜(HL)是静电和电磁场透镜的组合，支持从磁性材料到绝缘体等各种样品的高空间分辨率成像和分析 Neo Engine Neo Engine是一种前沿的电子光学控制系统，在自动功能的精度上有了显著的提高，可操作性也更高。即使变更电子光学条件，光轴也不偏差，操作性和观察精度大幅提高。可以说是JEOL电子光学技术的结晶。 ACL JSM-F100包括一个光阑角孔优化透镜(ACL)。ACL抑制入射电子的扩散，以始终保持最小的探头。这是通过对孔径角度的优化控制来实现的，以适应探头电流的大变化，使扫描电镜的操作包括高分辨率成像和x射线分析顺利进行。 检测器 4个检测器。标配SED (二次電子検出器)、UED(上方検出器) 、可选件RBED、USD