酸泵 FS-100HT2

气动式波纹管固定式

提高清洗效率 随着循环流速的增加，清洁效率，如去除晶圆上的颗粒和金属污染的效率得到提高。由于循环速率的提高，因加工线数量增加而导致的清洗时间也将减少。 无污染 除了使用氟塑料湿端（PTFE和PFA）外，泵的外表面的氟涂层对半导体制造中使用的酸、碱和过氧化氢化学制品的蒸汽有最好的抵抗力。 减少了安装面积 除了使用氟塑料湿端（PTFE和PFA）外，泵的外表面的氟涂层对半导体制造中使用的酸、碱和过氧化氢化学气体具有最好的抵抗力。 节省重量 设计的优化使我们现有的80-100L型号的泵重量减轻了约15%，使安装和更换工作更加容易。