XY轴位移台 XY-OF-100x100J-MLVT-25J-RTLA-30-100HJ旋转机动双轴
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产品规格型号
- 方向定位
- XY 轴, 旋转
- 类型
- 机动
- 轴数量
- 双轴, 3轴
- 其他特性
- 高精度, 紧凑型, 小型, 用于显微镜, 高速, 用于晶圆操作, 自动, 带控制器, 薄型
- 运行行程
200 mm
(7.874 in)最多: 600 mm
(23.622 in)最少: 50 mm
(1.969 in)- 速度
100 m/s
(328.08 ft/s)- 重复精度
2 µm
最多: 5 µm
最少: 1 µm
- 载荷
10 kg
(22.05 lb)最多: 50 kg
(110.23 lb)最少: 1 kg
(2.2 lb)
产品介绍
XY 滚珠丝杠驱动开放式 XY 平台与升降 MLVT 平台和紧凑型蜗轮蜗杆旋转 RTLA 工作台的组合
- XY 行程 100 毫米至 300 毫米
- 升程 12 毫米至 25 毫米
- 无限旋转
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