光谱分析椭偏仪 UVISEL 2 VUV

UVISEL 2 VUV是VUV测量的相位调制ellipsometer的ne一代。这是可利用主要分光镜的ellipsometer，意欲表达在最大的波长范围的最快的薄膜测量，从147到2100毫微米。UVISEL 2 VUV是一参半ellipsometer，工作的适合在2个方式下，在氮气或根本真空下。它的机械概述为低氮气运用被改进下来对6l/min，并且考虑快的样品装货。八条光点直径的选择对最小的区域测量是完善的，并且在前面的一个及时地可利用的房间做装载极端适当的样品。它合并双重大功率生命力来源，高生产量光学，Caf2照片灵活的调制器和两台先进的单色仪。UVISEL 2 VUV给高敏感性在VUV波长。