1. 工业机器和设备
  2. 打印,标识与雕刻
  3. 雕刻机
  4. Hitachi High-Tech Europe GmbH/日立
video corpo

ECR等离子雕刻机 M-600/6000 series
用于硅

ECR等离子雕刻机
ECR等离子雕刻机
添加到我的收藏夹
添加到产品对比表
 

产品规格型号

工艺
ECR等离子
应用
用于硅

产品介绍

导体蚀刻系统M-600/6000系列是针对移动系统、家用电器、汽车、火车等使用的功率器件的深硅沟槽蚀刻。 低温蚀刻技术和TM(时间调制)偏压技术与ECR(电子回旋共振)高密度等离子体源一起,提供了一个干净的工艺,卓越的沟槽轮廓,没有侧壁残留物,以及出色的生产力。 适用的晶圆直径:150mm,200mm 系统配置:2个蚀刻+2个灰化(最大)。

---

展厅

该卖家将出席以下展会

analytica 2024
analytica 2024

9-12 4月 2024 München (德国) 展会 A2 - 展台 113

  • 更多信息
    36th Control 2024
    36th Control 2024

    23-26 4月 2024 Stuttgart (德国) 展台 7103

  • 更多信息
    查看所有展会
    相关搜索
    * 显示价格为参考价,此价格不含税、不含运费、不含关税,也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。