MEMS镜子 S13989-01H

正方形激光偏转

电磁驱动二维激光扫描 MEMS 振镜 S13989-01H 是一款电磁驱动振镜，采用了我们独特的 MEMS（微机电系统）技术。通过将磁体布置在振镜下方，设备尺寸得以缩小。采用密封封装实现了高可靠性。围绕振镜的线圈中流动的电流基于弗莱明定律产生驱动振镜的洛仑兹力。滨松 MEMS 振镜提供宽光偏转角和高镜面反射率。 特点 - 低电流操作 - 超小型尺寸 - 宽光偏转角 详细参数 • 类型 : 双轴光栅扫描 • 操作模式 : 快轴：非线性模式（谐振模式） • 慢轴：线性模式 • 振镜尺寸 : φ1.23 mm • 振镜材料 : 铝 • 光偏转角 : 快轴：±20° • 慢轴：±12 ° • 驱动频率（最大） : 快轴：29.3 kHz（典型值） • 慢轴：100 Hz