Optical NanoGauge 膜厚测量系统 C10323 是一种显微膜厚测量系统。如果物体具有会产生高水平散射光的不规则表面,则无法在宏观层面上进行测量。对于这些类型的对象,测量小面积会减少散射光,从而可以进行测量。
C10323-02 的电源电压为 AC100 V 至 AC120 V。
特点
• 微视野厚度测量
• 高速度和高精度
• 分析光学常数(n、k)
• 提供外部控制
详细参数
• 型号 : C10323-02
• 可测量的薄膜厚度范围(玻璃) : 20 nm 至 50 μm①
• 测量重现性(玻璃) : 0.02 nm②
• 测量精度(玻璃) : ±0.4%③
• 光源 : 卤素光源
• 测量波长 : 400 nm 至 1100 nm
• 光斑尺寸 : φ8 μm 至 φ80 μm④
• 工作距离 : 请参阅物镜列表
• 可测量层数 : 最多 10 层
• 分析 : FFT 分析、拟合分析、光学常数分析
• 外部控制功能 : RS-232C、PIPE、以太网
• 接口 : USB 2.0
• 电源 : AC100 V 至 AC120 V,50 Hz/60 Hz
• 功耗 : 约 250 VA