运输传送系统

传送装置自动化

有了我们用于洁净室的自动辊道输送系统，半导体工厂中的人工晶圆输送已成为过去。将材料自动输送到工艺系统可节省操作员的宝贵时间，缩短吞吐时间，从而提高整体生产效率。 用于半导体行业的智能输送系统 与洁净室兼容的辊式输送机可输送不同类型的运输箱，如 FOUP、SMIF pods、HA200 箱、开放式晶圆盒和客户定制的晶圆箱。 辊筒输送机运输系统的单独驱动电机按区域排列，可确保无碰撞的自动运输。此外，该系统还能以不同的速度加速或减速分区运输的货物。为确保驱动侧与被动辊筒同步，辊筒以一定的间隔与空心轴连接。 该系统将生产线、升降机和旋转元件进行了多功能组合，可为半导体工厂提供高度定制化的晶片运输解决方案。该传送系统可整合工厂的多个生产层。 通过将读取载体 ID 和晶圆 ID、映射和对齐晶圆等额外工作步骤纳入运输流程，可显著节省运输路线上的时间。 最后，洁净室输送系统的一大特点是通过集成微控制器进行简单灵活的控制。