小盒自动存储系统 FlatStocker

用于无菌室

FlatStocker 是一种创新型系统，用于在无尘室天花板下存放材料载体，如开放式晶片盒和 H200 盒。 利用不需要的空间 这种创新型系统是节省空间的理想解决方案，可用于在地面空间有限且非常宝贵的地方存放材料载体（如开放式晶圆盒和 HA-200 盒）。FlatStocker 悬挂在天花板上，无需占用昂贵的无尘室地面空间，可设计用于处理各种类型的晶圆盒。FlatStocker 利用 RFID 和条形码技术向客户的 MCS（物料控制系统）实时提供载体 ID 信息。 该系统与运输系统和垂直升降机相连，可实现快速存储或批量存取。 简单的设计基于成熟的工业组件。这样就可以非常灵活地进行最有效的配置，以满足客户的存储要求和可用空间。 特点 在洁净室天花板下方存放产品载体，如开放式晶圆盒和 HA-200 盒 射频识别（RFID）和条形码技术可实现批次位置的实时跟踪 符合 SECS GEM / SEMI E88 / SEMI E84 标准的控制器软件 用于将载体传送到其他系统的接口 可根据客户需求灵活调整设计 符合 ISO 3 / US FED 1 级标准 在 ISO 4 级洁净室中的运行速度为 1.5 米/秒