食品行业加工线 EVG®120

晶圆

EVG® 120 是一种紧凑、具有成本效益的耐腐蚀性加工系统，用于在洁净室空间有限的情况下启动生产。 全新 EVG120 通用和全自动抗蚀剂处理工具能够处理各种基材形状和尺寸，最大可达 200 毫米 /8"。 新一代 EVG120 采用全新的超紧凑型设计，采用新开发的化学柜，用于外部存储化学品，同时提供更高的吞吐能力、针对大批量客户需求进行优化并可用于大批量制造 (HVM)。 EVG120 为用户提供了一系列精心设计的优势，而这些优势在任何其他工具中都无法找到，并以极低的拥有成本保证了各种应用领域的最高质量标准。 具有可 达 200 毫米的晶圆尺寸 超紧凑设计，占地面积最小可 达 2 个涂层/开发腔和 10 个热/冷盘 多功能模块的多功能组合，用于旋转和喷雾涂层、开发、烘烤和冷却，在许多应用领域提供了巨大的机会用于外部存储化学品的化学柜 EV 集团专有的 OmniSpray® 超声波雾化技术在极端拓扑设计的保形涂层方面提供无与伦比的工艺效果 CoverSpintM 旋转盖可实现低抗蚀消耗和优化抗蚀涂层均匀性用 于清洗、声波化学加工和开发的 Megasonic 技术提高了过程效率，并将过程时间从几小时缩短到几分钟， 经现场验证的机器人操作具有双端效应器能力，确保持续的高吞吐量