主动型真空计 BAG402

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BAG402 中超高真空计 INFICON 单贝亚尔-阿尔珀特热离子计 BAG402 涵盖广泛的测量范围，从 5×10-10 毫巴到 2.7×10-2 毫巴（3.75×10-10 托尔到 5×10-2 托尔）。 选择 INFICON BAG402，实现经济实惠且可重复的过程，以便在紧凑的主动计量封装中进行基础压力测量。 独特的支撑双丝提供卓越的精度、长期稳定性和使用寿命。 优点 测量范围从 5×10-10 毫巴到 2.7×10-2 毫巴 (3.75×10-10 托尔至 5×10-2 托尔) 在 10-8... 10-2 毫巴 5% 过压检测的过程压力范围内具有优异的重复性，可保护灯丝免受过早烧伤 两个长寿命的氧化 ytrium 涂层铱细丝 自动发射电流选择降低控制复杂性 易于与板载校准数据交换传感元件，确保高可重复性 RoHS 标准 应用典型应用 半导体工艺和传送室中的压力测量 工业涂层 低至超高真空范围内的一般真空测量和控制