不锈钢旋转轴 DXR+铝合金直接传动中空
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产品规格型号
- 材料
- 不锈钢, 铝合金
- 类型
- 直接传动
- 构造
- 中空
- 应用产品
- 用于半导体, 用于电子应用
- 其他特性
- 精准, 紧凑型, 高速旋转
- 扭矩
1 Nm, 1.32 Nm, 1.74 Nm, 7.87 Nm
(0.737562 ft.lb, 0.973582 ft.lb, 1.283358 ft.lb, 5.804614 ft.lb)- 直径
44 mm
(1.73 in)- 长度
215 mm
(8.465 in)
产品介绍
DXR+为ETEL的回转模块，结构紧凑，重量轻，配大型空心轴，用于满足半导体和电子行业的中端应用对高性价比的要求。
DXR+的刚性得到显著提高，对支撑回转模块的XY平台的控制带宽有直接的影响。DXR+模块使用48 VDC至300 VDC之间总线电压工作。可用AccurET 48或300模块驱动，对于更高位置稳定性要求的应用可用AccurET VHP驱动。
与ETEL的许多其它模块一样（ZT，Z3TH，RTTB），DXR+可安装在所有标准XY平台上。DXR+是单自由度模块，支持任意的角度运动。但可选配一定的角度运动范围，大约60°为一个单位。在一定条件下，DXR+的洁净度可从ISO 5至ISO 1。
DXR+模块是满足以下应用要求的理想选择：
- 运动的平稳性
- 中等精度要求（典型的跳动值大约为5 µm）
- 位置稳定性在100 nm范围内，半径150 mm时
该模块适用于，但不限于：
- 圆晶工序控制，圆晶切片
- 圆晶划线
- 激光热处理
- 光伏电池生产
- 等
