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气体净化系统 GateKeeper
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产品规格型号
- 技术参数
- 用于气体
产品介绍
GateKeeper® 气体净化系统
GPS 介质系列（HX、DX 和 Z2）以低成本提供一系列纯化气体，
最大流量范围从 311 SLM 到 932 SLM
应用包括浸入式光刻工具、半导体和 LED 生产
净化器自动自再生，保证纯气的连续流动，
紧凑型设计使用最少的厂房面积，确保设施成本节约
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