加工主轴 EZ-8212

冷却粉磨测量

EZ-8212 主轴配备大扭矩电机（Tecnotion），转速最高可达 5000 转/分。在高速运转时，必须对空气轴承进行冷却。为此，转子上有四个冷却通道，可通过外部旋转接头进行冷却。冷却水入口位于主轴后部，出口位于主轴前端；因此，流出的冷却水可用于冷却基体。电机由单独的冷却回路冷却，两个接口都位于主轴后部。气态介质（真空或压缩空气）的 2 个通道通过集成的旋转接头送入主轴鼻端。该主轴专为晶片研磨应用而开发。迷宫式密封确保主轴在不洁环境中也能正常运转。主轴的径向和轴向运动误差小于 200 nm，适用于各种高精度加工工艺。主轴配有增量式角度测量系统（海德汉 TTR ERM），可测量 512 条线。安装位置没有限制。 应用：晶片加工、测试系统、同心度要求高的应用。