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Eitzenberger Luftlagertechnik GmbH
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电动回转工作台
EZ-0779
可倾斜
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产品规格型号
驱动类型
电动
配置
可倾斜
直径
300 mm
(12 in)
产品介绍
EZ-0779 旋转台具有高轴向负载能力和低于 100 nm 的轴向/径向误差运动,最初是为晶圆加工而开发的;它适用于各种应用。直接驱动式转台配备了大功率水冷扭矩电机。此外,还可选配最多 6 个空气/真空通道的旋转馈入件。测量系统(Numerik Jena RIK4)有 18,000 条测量线,可选择提供 5、10、50 或 100 的细分系数。插值越小,速度越快,插值越大,重复精度越高。安装位置没有限制。 应用晶片研磨、晶片减薄、测试系统、对同步和/或定位精度要求较高的应用场合
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此为机器翻译文本。 (查看英文原文)
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EZ-0779
2 页
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