CVD镀膜机 Voyager PIB-CVD
溅射薄膜光学

CVD镀膜机
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产品规格型号

方法
CVD
所用技术
溅射
镀层类型
薄膜
其他特性
光学
应用
医用

产品介绍

Voyager PIB-CVD是一个围绕无灯丝的Endeavor射频离子源建立的等离子体离子束辅助化学气相沉积(PIB-CVD)系统。这种获得专利的离子源,通过设计,可以在很大范围内独立控制离子电流密度和离子能量,能够产生高沉积率的多层涂层。它能够在低温下(低于100°C)沉积高速率、高质量的涂层,使其与典型的塑料基材,如聚碳酸酯(PC)和聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)兼容。 Voyager PIB-CVD系统的设计重点是类金刚石纳米复合材料(DLN),为平面(如硅片)和三维部件(如光学镜片)的涂层提供一流的灵活性。该系统配置了Denton的Process Pro控制系统,可以进行自动和手动工艺控制。 此外,还有一个可选的专有腔室配置,以便在DLN沉积期间对DLN(Me-DLN)薄膜进行共溅射。这种配置在业内是独一无二的,为开发具有可定制的机械、电气和摩擦学特性的新型DLN薄膜提供了可能性。 Voyager PIB-CVD平台提供的类金刚石纳米复合材料(DLN)薄膜用于。 柔性和抗划痕显示器 医疗和商业产品的耐磨涂层 红外透明保护膜 疏水涂层

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