立式自动存储系统

货盘长物料用于小盒

洁净立库(Clean Stocker) 洁净立库（Clean Stocker）主要用于洁净室内的半导体生产工序及工序之间半成品的暂时存储(缓存)、以及平板显示器（FPD）用晶片盒的搬运和存储。针对半导体存储方面，提供按照晶圆传送盒（FOUP）的存储数量，可以随意扩大货位的立库；还提供针对FPD各种类型的晶片盒尺寸设计的各类自动立库。