半导体测试平台 FTI-1000 Flexible Power

概述
FTI‑1000 Flexible 是一款紧凑、模块化的多站点自动测试设备（ATE）平台，面向 Si 与 GaN 中功率离散器件的高混合度测试。系统可配置为 8–16 站，支持高达 1.2 kV 与 100 A，具有独立的直流与交流资源，并可对 MOSFET 与电力器件进行全面测量，包括直流特性、ΔVsd、栅极电荷、栅极电阻与电感性开关测试。

关键定位

• 设计即适配 — 模块化架构便于针对不同器件类型和测试需求快速重新配置。
• 高产能 — 以 8 站为基础并优化测试序列，降低混合生产的总体测试时间。
• 运行高效 — 占地小、切换快速，适用于研发与自动化生产场景。

应用
用于汽车、工业及宽禁带（Si / GaN）离散功率器件的最终测试与表征；工程验证、UIS/雪崩测试与栅极表征。

集成与软件
机械开放性与模块化设计支持与 pick‑and‑place、重力供料、引线框条带（leadframe strip）等处理器的兼容。测试开发、调试与表征通过 FTI Studio 实现，支持波形捕获、自动数据表生成、schmoo 绘图与参数分析工具。

产品说明
Tester‑per‑Channel Board 的模块化架构在单一可扩展平台内提供可配置的 AC 与 DC 资源。插拔式选项与模块化机电单元实现可扩展性（HV 扩展、高电流脉冲模块、数字化仪、Rg 测量模块等）。

技术规格

• 平台系列：FTI‑1000 Flexible
• 测试站数量：8-16
• 最大开关电压（AC / DC）：1.2 kV
• 最大开关 / 直流电流：100 A
• 短路能量能力：>10 J
• 栅极电压范围：±25 V
• 直流参数测试（示例）：Rdson、Idon、Vce(sat)、Vgs、Gfs、Igss、Idss、BVdss
• 栅氧与质量测量：Rg、Cg、Qg
• 热接合（die‑attach）质量指示：dVsd / Vgs
• UIS / avalanche / 本体二极管质量指标：UIL、EAR、EAS
• 数字通道：可选 8 个独立数字通道（IC Channel Board）
• 栅极电阻选项：0、10、25、50 Ω 及用户可插拔 R
• 负载电感：可插拔离散电感或可选电感箱
• 直流源驱动（HV）：电压 1.2 kV；HV 电流驱动示例范围：25 mA
• 额定电流能力（DC/AC）：100 A
• 外形尺寸：541 mm × 345 mm × 206 mm • 电源：345 mm × 176 mm × 103 mm
• 软件（FTI Studio）：波形捕获、自动数据表生成、schmoo 绘图、参数分析、测试程序创建/调试
• 处理兼容性：pick‑and‑place、gravity‑feed、leadframe strip 及其他标准自动化处理器兼容