性能测试系统 VIP EXTENDED

阻抗用于研究开发用于航空航天业

概述
VIP Extended 是一款可配置的自动测试设备（ATE），用于对硅基、SiC 与 GaN 功率器件进行并行测试。适用于晶圆分选（wafer sort）、条带测试（strip test）、贴片机（pick & place）和重力式 handler 环境，支持最多 48 个并行测试站点，以提升产能并降低单件测试成本。

产品要点

• 面向驱动 IC、IGBT、功率 MOSFET 与 Power IC 等低压与功率器件的可配置 ATE
• 支持最多 48 个并行测试站点，实现高单位产出（UPH）
• 高资源密度与模块化架构，便于在生产线中灵活集成
• 集成高精度测量仪器：TMU、皮安表、LCR 表、PPMU 及高电流 Sink/Source 模块

亮点 / 优势

• 为晶圆分选与条带测试流程优化
• 可在最多 48 个站点并行测量 Rg、Cg 与 UIS
• 通过高通道密度与模块化选项降低测试成本（COT）

功能 — VIP Extended
尺寸 D×W×H：640 mm × 600 mm × 350 mm
DCS MP：48 channels, ±80 V @ ±4 A
高压电源（标准）：80 V / 250 A（48 站点）
Load Prog 模块：最多 48 个高电流 Sink/Source 通道，最高 250 A / 80 V + TMU 与差分计量电路
数字通道：最多 320 个数字通道；最多 64 个 PPMU
浮动数字驱动器：最多 48 个，范围 -5 V 至 18 V
感性与阻性负载：定制板实现
LCR 表：最多 48 台
皮安表：最多 48 台，电流范围 2 nA–2 µA，精度可达 ±20 pA
时序测量：48 通道 TMU
附加仪器：最多 64 个 PPMU、48 台皮安表、最多 48 台 LCR 表、感性/阻性负载板
机柜：适用于生产线的紧凑机柜（350 × 600 × 640 mm）

适用器件与应用

• 器件类型：高/低端驱动 IC、IGBT、功率 MOSFET、功率集成电路等硅基及宽禁带器件（SiC、GaN）
• 应用场景：晶圆分选、条带测试、贴片机集成、重力式 handler、量产测试线

特性 / 技术规格

• 并行站点：最多 48 个
• 四象限直流资源：最多 48 路，±80 V，±4 A
• 高压/大电流电源（标准）：80 V / 250 A（48 站点）
• 高电流 Sink/Source 通道：最多 48 路，最高 250 A / 80 V
• TMU：48 通道时序测量单元
• 数字资源：最多 320 个数字通道；2 M 向量模式存储器
• PPMU：最多 64 个可编程参数测量单元
• 浮动数字驱动器：最多 48 个，范围 -5 V 至 18 V
• LCR 表：最多 48 台
• 皮安表：最多 48 台，电流范围 2 nA–2 µA，精度 ±20 pA
• 感性与阻性负载：定制板实现
• 机柜占地：350 × 600 × 640 mm（适合生产线集成）