半导体测试平台 Hatina 4S

产品概述
Hatina 4S 是 Cosmic 推出的紧凑型模块化 ATE 平台，专为 MEMS 器件与磁传感器的晶圆级（WS）和最终测试设计。平台支持对湿度、压力、温度传感器、麦克风、磁力计以及用于加速度计/陀螺仪的 twist-tilt 单元的刺激模块。系统结构可扩展，乒乓模式下最高可达 140 个测试点，体积小巧便于集成到 handler 与自动化产线。

关键优势

• 面向量产的模块化紧凑测试方案，适用于 MEMS 与磁传感器
• 高引脚数 V/I 通道与动态电源系统（DPS）
• 高密度数字通道与 PPMU 配置选项
• 集成多路复用器以实现通道复用与灵活性
• 高并行性带来低站点成本
• 便于与自动化与 handler 的集成

可用变体

• Hatina 4S Magnetic — 配备 Magneto Board 的磁场刺激系统（专利无线圈设计，高磁场输出）
• Hatina 4S MEMS — 面向 MEMS 器件的优化配置（加速度计、陀螺仪、压力、温度、湿度、气体传感器）
• Hatina 4S Microphone — New Era 麦克风系统，包含音频模块与每站点 AWG，用于 MEMS 麦克风测试

产品简介
Hatina 4S 面向高并行的 MEMS 与磁传感器生产测试。技术亮点包括：专利无线圈磁场发生器（最高 400 Gauss）并支持 3D 旋转、麦克风测试能力达 75 dB SNR 与 140 dB SPL、噪底低于 20 dB、幅度精度优于 0.1 dB、支持 −40 °C 至 +180 °C 的气候箱，以及可实现多站并行测试的加速度计/陀螺仪模块。平台侧重于小体积、可配置性及通过高站点数降低单件测试成本。

技术规格

• 外形尺寸（D×W×H）：330 mm × 360 mm × 538 mm
• 最大并行度：可扩展至 140 个站点（乒乓模式）
• 磁性变体：专利无线圈磁场发生器，最高 400 Gauss，支持 3D 旋转
• 麦克风性能：SNR 可达 75 dB；140 dB SPL；噪底 < 20 dB；幅度精度 < 0.1 dB
• 气候舱支持：工作范围 −40 °C 至 +180 °C
• Analog / Power (Hatina 4S)：8 DCS @ 1 A 源，mux 在 256 个位置
• Analog / Power (Hatina 4S Magnetic)：最多 40 DCS_MP；电压范围示例 ±1 V、±3 V、±5 V、±10 V；-10 V/+30 V；-10 V/+55 V；电流范围示例：20 µA、200 µA、2 mA、20 mA、4 A
• 数字通道与 PPMU (Hatina 4S)：48 数字通道 & PPMU_60mA 源，mux 在 256 个位置 + 20 数字通道无 mux – 16 PPMU 无 mux
• 数字通道与 PPMU (Hatina 4S MEMS)：最高 320 数字通道；最高 192 PPMU
• New Era 板（Microphone）：最多支持 24 个模块 — 1 模块 = 20 数字通道 + 模拟部分（16 PPMU）
• Microphone64 板（Microphone 变体）：最多 8 个音频模块，用于测试数字与模拟 MEMS 麦克风，每站配备 AWG
• Rate table：MEMS 变体支持速率控制
• JIG / 接口：socket board、Magneto PCB 与 reference board（磁性变体）
• 系统组成：HATINA tester、loadboard 与线缆套件、接口/夹具（socket board、magneto board、reference board）