陶瓷真空盘 PLASMAPURE™ ALUMINA

用于光刻和晶圆检测的陶瓷元件 我们的超纯陶瓷元件是下一代光刻和晶圆处理应用的理想之选，可确保将污染降至最低，并提供超长寿命性能。 光刻和晶片检测组件 我们的高纯度陶瓷元件具有抗化学腐蚀和热稳定性的特点，是光刻加工、晶片处理（低污染）和晶片检测（极高的耐用性和硬度，尺寸稳定）的理想选择。应用包括 光掩膜基板 晶片卡盘 晶片台组件 晶片台 推荐的光刻和晶圆检测材料 高纯铝 UltraClean™ 重结晶碳化硅 CeraSiC、UltraSiC™ 直接烧结碳化硅 光掩膜衬底 CoorsTek 光掩膜基板由高纯度合成石英玻璃制成，具有优异的紫外线和可见光透过率、热稳定性、电绝缘性、低双折射和持久的化学稳定性。先进的可扩展抛光技术使这些光掩膜基板成为从晶片到大型平板显示器 (FPD) 的微观图案化的理想选择。 晶圆片 我们的超平陶瓷真空晶片卡盘、步进卡盘、多孔卡盘和静电卡盘改善了半导体晶片加工的产量管理。低表面接触配置将敏感应用中背面颗粒的风险降至最低。我们的晶片卡盘可提供 超平能力 镜面抛光 超轻重量 高硬度 热膨胀率低 直径 Φ 300 毫米及以上 极强的耐磨性