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准分子激光系统
LineBeam
脉冲
固态
紫外线
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产品规格型号
运行方式
脉冲
所用技术
固态
光谱
紫外线
应用
工艺流程
其他特性
准分子
功率
5,400 W
波长
308 nm, 355 nm
产品介绍
LineBeam 系统是一种支持性光学技术,适用于在大型基板上大规模制造 LTPS 背板,良率极高。 为高达 Gen 10.5 的面板尺寸提供长达 1500 mm 的线光束轮廓。 具有为实现产能和光束利用率最大化而设计的长短轴光束同质性。 出色的脉冲稳定性和深景深可确保提供较大的工艺窗口。 LINEBEAM – 一些关键性能指标 受益于 LineBeam 的顶帽光束轮廓,在短轴和长轴上均具有出色的同质性,全部均为 308 nm 的短波长。
PDF产品目录
MicroLas
6 页
Excimer Catalog 2016
52 页
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