准分子激光系统 LineBeam

脉冲固态紫外线

LineBeam 系统是一种支持性光学技术，适用于在大型基板上大规模制造 LTPS 背板，良率极高。 为高达 Gen 10.5 的面板尺寸提供长达 1500 mm 的线光束轮廓。 具有为实现产能和光束利用率最大化而设计的长短轴光束同质性。 出色的脉冲稳定性和深景深可确保提供较大的工艺窗口。 LINEBEAM – 一些关键性能指标 受益于 LineBeam 的顶帽光束轮廓，在短轴和长轴上均具有出色的同质性，全部均为 308 nm 的短波长。