电子流量调节器 CFC

压差闭合回路用于气体

在闭环系统中进行精确的线性流量控制，具有超高的分辨率和可重复性。 Cordis流量控制器在比例阀的上游采用了反应极快的mems技术传感器，并可选择DR-2调节器，在小体积内实现精确的压力控制。与其他质量流量控制器需要30分钟的预热时间、大压差和有限的流量范围不同，Cordis只需要不到一分钟的预热时间，其压降≤14 "H2O，并且其流量范围低至0至30 sccm。标准控制选项包括0.2至10 VDC、4.32至20 mA和3.3 VDC串行。 科迪斯的主要优势。 - 50:1降速比 - 紧凑的尺寸和重量 - ≤14 "H2O压降 - <1分钟热身 - 多个低流量范围 - <50毫秒响应时间 - 分辨率≤25 mV - 可选的集成调节器 - OEM风格的卡单元或IP65外壳的轻工业应用。 Cordis流量控制器使用一个微控制器、集成流量传感器、DR-2调节器和一个比例阀。供气连接到调节器上，调节器准确地维持流量传感器和Clippard EVP或DVP比例阀的压力。当指令增加时，比较电路打开阀门，使流量通过板载流量传感器。这为微控制器提供了一个主动反馈信号，以满足过程中的流量设定点。如果在任何一点上，流量传感器检测到的数值高于或低于设定点指令，比例阀将调制更多或更少的输出，以保持过程中流量的稳定和精确控制。