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带质量流量控制器流量计 EL-FLOW® Metal Sealed
热量质量用于气体

带质量流量控制器流量计 - EL-FLOW® Metal Sealed - Bronkhorst/德国Bronkhorst - 热量 / 质量 / 用于气体
带质量流量控制器流量计 - EL-FLOW® Metal Sealed - Bronkhorst/德国Bronkhorst - 热量 / 质量 / 用于气体
带质量流量控制器流量计 - EL-FLOW® Metal Sealed - Bronkhorst/德国Bronkhorst - 热量 / 质量 / 用于气体 - 图像 - 2
带质量流量控制器流量计 - EL-FLOW® Metal Sealed - Bronkhorst/德国Bronkhorst - 热量 / 质量 / 用于气体 - 图像 - 3
带质量流量控制器流量计 - EL-FLOW® Metal Sealed - Bronkhorst/德国Bronkhorst - 热量 / 质量 / 用于气体 - 图像 - 4
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产品规格型号

Vvv技术
热量
类型
质量
液体类型
用于气体
安装类型
在线
材质
不锈钢
通信协议
4-20 mA, 模拟输出, ModBUS RTU, RS-232, PROFIBUS DP, 以太网
电源电压
24Vdc, 15Vdc
保护程度
IP40
应用
半导体工业
其他特性
数字, 高精度, 带质量流量控制器
质量流量

最多: 50 l/min
(13.2086 us gal/min)

最少: 0.1 l/min
(0.0264 us gal/min)

工艺温度

最多: 50 °C
(122 °F)

最少: -10 °C
(14 °F)

工艺压力

1,000 psi, 1,500 psi

精确度

0.1 %, 0.5 %

重复精度

0.1 %, 0.2 %

产品介绍

Bronkhorst金属密封气体质量流量计和控制器为全金属密封结构，具有高性能、高质量的特点，适合半导体产业以及高纯度气体运用场合。质量流量计和控制器的表体使用的是 1/4″ VCR 连接。 EL-FLOW® 产品具有多气体/多范围功能，为客户（OEM）提供可选的灵活性以及高效率工艺。为方便客户使用，Bronkhorst提供免费且便于操作的配置软件。 特点 可进行重复密封的全金属外部密封结构（无密封圈） 电抛光过流部件 无尘组装 多介质/多范围可调节功能 模拟通讯和数字I/O, 可与如下任意集成接口连接： DeviceNet™, PROFIBUS DP, Modbus, EtherCAT® 或者 FLOW-BUS 无零飘（不需要零点自动调整电路） 高精度、重复性高

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* 显示价格为参考价，此价格不含税、不含运费、不含关税，也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。