- 工业检测、测量设备
- 测流量仪表、测压力仪表、测液位仪表
- 热质量流量计
- Bronkhorst/德国Bronkhorst
带质量流量控制器流量计 EL-FLOW® Metal Sealed热质量用于气体在线
添加到我的收藏夹
添加到产品对比表
产品规格型号
- Vvv技术
- 热质量
- 液体类型
- 用于气体
- 安装类型
- 在线
- 材质
- 不锈钢
- 通信协议
- 4-20 mA, 模拟输出, RS-232
- 电源电压
- 24Vdc, 15Vdc
- 保护程度
- IP40
- 应用
- 半导体工业
- 其他特性
- 高精度, 带质量流量控制器
- 质量流量
最少: 0.1 l/min
(0 us gal/min)最多: 50 l/min
(13.2 us gal/min)- 工艺温度
最少: -10 °C
(14 °F)最多: 50 °C
(122 °F)- 工艺压力
1,000 psi, 1,500 psi
- 精确度
0.1 %, 0.5 %
- 重复精度
0.1 %, 0.2 %
产品介绍
Bronkhorst金属密封气体质量流量计和控制器为全金属密封结构，具有高性能、高质量的特点，适合半导体产业以及高纯度气体运用场合。质量流量计和控制器的表体使用的是 1/4″ VCR 连接。
EL-FLOW® 产品具有多气体/多范围功能，为客户（OEM）提供可选的灵活性以及高效率工艺。为方便客户使用，Bronkhorst提供免费且便于操作的配置软件。
特点
高精确度 (标准 0.5% Rd + 0.1% FS)
可进行重复密封的全金属外部密封结构（无密封圈）
电抛光过流部件
无尘组装
多介质/多范围可调节功能
模拟通讯和数字I/O, 可与如下任意集成接口连接：
DeviceNet™, PROFIBUS DP, Modbus, EtherCAT® 或者 FLOW-BUS
无零飘（不需要零点自动调整电路）
高精度、重复性高
PDF产品目录
METAL SEALED
6 页
