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热质量流量计 CMS series用于气体在线用于高流量
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产品规格型号
- Vvv技术
- 热质量
- 液体类型
- 用于气体
- 安装类型
- 在线
- 应用
- 用于高流量
- 质量流量
最多: 2,000 l/min
(528.3 us gal/min)最少: 10 l/min
(2.6 us gal/min)- 工艺压力
最多: 1,000,000 Pa
(145.04 psi)最少: -70,000 Pa
(-10.15 psi)
产品介绍
“ 描述
CMS系列气体Hydogen的\ /Helium流量米
概要
CMS是使用Yamatake的µF的极可靠的气体流量米(MicroFlow)传感器作为它的传感元件。µF传感器是MEMS热量大量流程传感器cpable测量极端底的流速。µF传感器和先进的管道设计技术的综合化达到了高精确度和高rangeability在低cost. \ /html”
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