热质量流量计 PFLOW10U-2210

用于空气用于水在线

PFLOW：面向医疗和过程控制应用的 OEM MEMS 质量空气流量传感器 具有高阻力阻塞和压力冲击 PEWATRON 发布了新的 MEMS 质量空气流量传感器 PFLOW，它结合了最新的 MEMS 和微电子技术的创新。 PFLOW 传感器对堵塞和压力冲击具有非常高的抵抗力。 由于创新的 MEMS 隔热设计不需要易碎的薄膜或表面腔进行隔热。 该传感器在低流量时具有非常高的灵敏度，因此非常适合工艺行业的医疗和高级应用。 流量感应芯片由两个热电堆组成，该热电堆由加热器元件上游和下游对称地定位，加热热结点。 每个热电堆由 20 个串联热电偶组成，以显示最高灵敏度。 当流经过晶片时，热电堆产生的输出电压与热结和冷结之间的温度梯度（不对称）成正比，由于 Seebeck 效应。 如果介质是静态的（无流动），则上下游的温度曲线是对称的。 提供五种标准测量范围，范围从 0... 10 到 0... 2000 SCCM，以及客户特定的范围在 10 到 2000 SCCM 之间。 精度优于 + /-2.0% FS，温度补偿模拟输出 (0... 50° C) 与流动高度线性化。 模拟电压输出介于 1 至 5 VDC 之间，传感器耐水冷凝。 响应时间非常快，约 1-3 毫秒。