Aerotech的HexGen®六脚架代表了下一代六自由度(DOF)定位性能.HEX300-230HL是中等载荷, 超精密的六脚架, 适用于从传感器测试到同步加速器样品操作等多种应用.
-精密设计,保证定位精度规格
-XYZ最小增量运动为20 nm,θxθyθz最小增量运动为0.2 µrad
-灵活的配置和定制
-可根据要求提供真空准备
-功能强大的控制和软件,可视化工件和刀具坐标系
市场上独一无二的性能
在运动系统的设计和规格中存在许多权衡。HEX300-230HL具有高速度和亚微米级精度, 避免了对应用规格的妥协.Aerotech的HexGen六脚架是目前市场上唯一能保证定位精度低于5 µm的六脚架.
卓越的结构设计
HEX300-230HL由六个高精度支柱驱动, 包括精密预载轴承, 滚珠丝杠和驱动部件.不同于由直流有刷伺服电机驱动的竞争六脚架, HEX300-230HL由Aerotech的交流无刷, 无槽伺服电机驱动, 最大化了设备的寿命和性能.将交流无刷伺服电机直接耦合到滚珠丝杠, 与使用皮带, 减速器或顺从耦合的竞争设计相比, 增加了驱动刚度, 更高的定位精度和更好的最小增量运动(XYZ为20nm, θxθyθz为0.2µrad).
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