台式电源 Trek series

直流可调节带过电流保护

概述 Advanced Energy 的 Trek 静电吸盘（e‑chuck）电源提供对夹持电压、偏移电压和直流偏置偏移的精确控制，并具备可配置的过电流（over‑current）、晶圆存在（wafer‑present）和晶圆夹持（wafer‑clamped）阈值。可自定义的夹持/释放序列与可编程波形可优化夹持行为，减少粘晶圆和弹晶圆现象，从而提高半导体制造的吞吐量和良率。

产品状态 Active

主要功能与优势

• 监控阈值：过电流、晶圆存在、晶圆夹持
• 可调电压：夹持电压与偏移电压可调
• 偏置控制：支持内部或外部 DC 偏置控制
• 序列自定义：支持夹持/解夹序列与可编程波形
• 旨在防止粘晶圆和弹晶圆
• 提高吞吐量，减少晶圆损伤并提升良率

技术文档（选）

• Trek 645 数据表 — 数据表 — PDF — 111 KB — 2024年2月6日
• Trek 645‑HT 数据表 — 数据表 — PDF — 163 KB — 2025年12月11日
• Trek 646 数据表 — 数据表 — PDF — 116 KB — 2024年2月18日
• Electrostatic Semiconductor Wafer Clamping/Chucking System (ESC) Application Note — 应用说明 — PDF — 607 KB — 2023年6月15日

应用场景 适用于需要可靠静电吸盘电源控制的半导体制造工艺，包括沉积、蚀刻、掺杂/注入及电子束检测等工序。

特性 / 技术规格

• 控制参数：过电流、晶圆存在、晶圆夹持阈值
• 电压控制：夹持电压与偏移电压可调
• 偏置控制：支持内部或外部 DC 偏置
• 序列与波形：支持可配置的夹持/解夹序列及可编程波形
• 主要收益：降低晶圆损伤，防止粘晶圆与弹晶圆，提高良率与吞吐量
• 相关型号：Trek 645、Trek 645‑HT、Trek 646