用于蚀刻和沉积应用中半导体的光纤温度传感器
Advanced Energy 的 Luxtron® M-1100 是最新的 FluorOptic® 测温 (FOT) 转换器平台,具有先进的光源和改进的超低噪声电子器件。已开发出两种新型专有荧光粉配方 VioLuxTM 和 RubiLuxTM,可在 -200 至 450°C 范围内提供 0.5°C 的精度、可重复性和稳定性。
测量范围为 -200 至 450°C,支持先进的蚀刻工艺
先进的低噪声电子元件和算法可提供优于 0.05° 的精度
AccuDisc™ 传感器可使传感器与探头分离,从而实现更高的精度和可重复性
经验丰富的团队为原始设备制造商的定制测头开发提供支持
结构紧凑,采用 DIN 导轨尺寸,集成到工具和设备中时可最大限度地减少占地面积
不受电磁干扰(EMI)、射频、高压和微波源的电磁干扰
优点
非接触式测量,最大限度地减少热偏移
易于安装到 OEM 设备中
特点
支持的温度范围广
噪音低,响应速度快
单个转换器中包含 5 个通道
灵活的通信输出
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